高品质因子氮化硅微腔芯片

通过COMSOL进行回音壁型微环谐振腔进行模场分析，获得微环结构色散；采用Optisystem进行环形谐振腔与直波导进行耦合仿真，获得临界耦合情况下Q值与Gap关系曲线；编制Matlab程序数值求解LLE方程以及耦合模方程，数值仿真了微环谐振腔的非线性动力学过程，获得微腔光频梳的动态演化规律。完成氮化硅微腔结构设计、GDS版图绘制，完成了氮化硅微腔的加工，经测试Q值达到2*10^6，测得反常色散，实验可产生稳定的单孤子光频梳。